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九游会 J9九游会国产明场检测设备再上新台阶 天准科技加速布局

发布日期:2023-08-12 12:40 浏览次数:

  上证报中国证券网讯 近日,天准科技参股的苏州矽行半导体技术有限公司(下文简称“矽行半导体”)重磅宣布,其首台面向12英寸晶圆65~90nm技术节点的宽波段明场缺陷检测设备TB1000正式交付客户。此次推出明场缺陷检测设备是矽行半导体实现的重要突破,也代表着中国在半导体光学检测设备领域迈出了更加坚实的一步。

  在半导体制造流程中,前道瑕疵检测是当之无愧的关键工序之一,尤其是明场缺陷检测,能够检测更广泛的缺陷类型,是其中最为关键的一环,是提高产品良率、降低生产成本、推进工艺迭代的保障。同时,明场缺陷检测设备也是技术难度最高的前道检测设备,一直以来被国外龙头企业垄断,而矽行半导体就是为了打破这个局面而生的。

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  TB1000实现了精密光机电关键核心部件的自主可控,同时采用了先进的信号处理算法,有效提高信噪比,显著提升了设备在关键制程的缺陷检测灵敏度。对于天准科技而言,TB1000的面世,进一步完善了公司在半导体领域的产品版图。(宁晖)返回搜狐,查看更多

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